GB/T 25915.3-2010 洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法

介绍： GB/T25915的本部分规定了洁净室和洁净区空气悬浮粒子洁净度等级的检测方法,以及洁净室和洁净区性能的检测方法。性能检测针对是空态、静态和动态3种可能的占用状态下的单向流和非单向流型式洁净室和洁净区。本文件推荐了测定性能参数用检侧仪器和检测规程。某些检侧方法受限于洁净室或洁净区的类型,为此,本文件推荐了若干替代方法。为了满足不同用户的要求,对于某些检测项目,本文件推荐了几种不同的方法和仪器。本部分不适用于测量洁净室或隔离装置内的产品或工艺。